中古 AXCELIS / FUSION RapidCure 320PS #293625716 を販売中

AXCELIS/FUSION RapidCure 320PSは、高速で高品質のリソグラフィープロセス用に設計された最高レベルの露光装置です。このシステムは、半導体ウェーハなどの医薬・バイオメディカル産業の部品製造に最適です。FUSION RapidCure 320PSは、350mm×475mmのステージサイズで、大型ワークに対応し、スループットを向上させます。ユニークな真空適合性とUVパワーの150Wを兼ね備えており、高速かつ均一な露出均一性を実現しています。10ショットオートフォーカスユニットは、露出前にウェーハセクションに迅速かつ正確に焦点を当てることができます。様々なレンズオプションを備えており、様々なイメージング技術を可能にしています。スキャン境界でのステッチを最小限に抑えるための大きなフィールドレンズを備えており、スループットとフィールドの均一性が向上します。また、AXCELIS RapidCure 320PSはオプションのレーザーアライメントツールを備えており、ステージ上でより迅速かつ正確なアライメントを提供できます。このアセットにより、ウェハスケールのダイレクト、オーバーレイ、ギャップ露出など、複数の露出技術が可能になります。また、ウェーハを取り扱う「インテリジェントロボットアーム」、ステージ間のウェーハ搬送用ロボット、操作性を向上させる高度なコントロールパネルを搭載しています。RapidCure 320PSには、緊急シャットオフオプションやロックドアアクセスなど、多くの高度な安全機能があります。また、知的財産を保護することができるユニークなセキュリティモデルを持っています。最後に、包括的なデータロギング機能を備えており、ユーザーは以前のリソグラフィープロセスと露出を追跡することができます。全体として、AXCELIS/FUSION RapidCure 320PSは、高精度で効率的なリソグラフィープロセス用に設計された最先端の露光装置であり、半導体ウェーハおよび医薬品およびバイオメディカル産業のその他のコンポーネントを製造する信頼性の高いシステムをお探しのお客様に最適です。