中古 AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9293675 を販売中

AXCELIS/FUSION RapidCure 320FCは、従来の方法と比較して使用量と精度を向上させる高度な露光装置です。このシステムは、シングルパスレーザーリソグラフィの精密接触治癒のために設計されています。数ミクロンから数ミリメートルの厚さまで、幅広い基材に接触露光することが可能です。FUSION RapidCure 320FCは、標準基板で約30〜60分、デリケート基板で約10〜40分の露光時間を実現します。さらに、このユニットは露出プロセスを簡素化するユーザーフレンドリーなプログラミングインターフェイスを備えています。AXCELIS RapidCure 320FCは、特定の治癒アプリケーションに合わせてカスタマイズされた波長を使用する堅牢なレーザーベースの光学マシンを備えています。そのフィールドカーバチュアは調整可能で、ウェーハに焦点を正確に合わせることができます。さらに、リニアサーボモータ駆動ツールとリニアポジショニング技術により、この資産は迅速かつ正確な治癒のためにより信頼性が高くなります。安全性に関しては、RapidCure 320FCには、人間と財産の両方を保護するさまざまな機能があります。これらには、簡単なアクセシビリティガード、緊急停止ボタン、統合された衝突防止モデル、および高度な熱安全装置が含まれます。さらに、自動化対応の機能を備えており、ユーザーはシステムを簡単に自動化された生産プロセスに統合することができます。AXCELIS/FUSION RapidCure 320FCには、ユーザーにさまざまな利点があります。汚染のない運転、エネルギー効率の向上、生産性の向上などが挙げられます。このユニットは、高解像度および低乱流の空気機械を内蔵しており、作業エリアの周りの均一な空気の流れと温度をさらに保証します。このように、FUSION RapidCure 320FCは、生産コストの削減と品質保証の向上に役立ちます。全体的に、AXCELIS RapidCure 320FCは高度な露出ツールであり、ユーザーは繊細な基板を迅速かつ正確に修復できます。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、信頼性の高い操作、安全機能、オートメーション対応機能により、この資産は多くのリソグラフィプロセスアプリケーションで信頼性の高い選択肢となります。