中古 AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9273833 を販売中

AXCELIS/FUSION RapidCure 320FCは、先進的な半導体プロセスの開発を促進するために設計された、次世代の最高レベルの露光装置です。直径320mmの可変速ウエハチャックと高精度ウエハアライメントユニットを備えているため、複雑で高価な後処理を必要とせずに非常に細かい設計を行うことができます。Xpressファミリー（またはFusionHead）のディープUVレーザー源と、カスタム非球面レンズとスリット照明の両方に対応するユニークな照明設計を備えたFUSION RapidCure 320FCは、20nm以下のプロセスノードの開発に最適なツールです。高精度のウェーハアライメントマシンにより、非常に小さな機能でも正しく整列できます。RapidCureは、露出時間と線量の1％未満の分散で、表面全体にわたって優れた露出均一性を提供します。このツールは2つのフィルターを使用しており、プロセス要件に応じてさまざまなソリューションを可能にし、高精度な線量制御により、各処理ステップの最新の結果を保証します。また、AXCELIS RapidCure 320FCは、高度な入出力デジタルI/Oにより、焦点の高さを制御し、イメージングと組み合わせて複雑で繰り返しステッパーモーションプロファイルを可能にします。このアセットは、静的プラズマ源と正確に制御されたゲートバルブを統合し、均一なチャンバー環境を実現します。迅速な硬化プロセスにより、フォトレジストセットは毎回一貫して完成し、プロセスで使用されるウェーハとマスクの寿命を延ばすことができます。統合された冷却モデルは低い熱変動および高い発電の延長使用安定性を保障します。最後に、RapidCure 320FCは、高度なインターフェイス機能を備えたプロセスシミュレーションとOPCキャリブレーションが可能で、さまざまな露出ツールベンダーをサポートします。自動レシピ、Live Exposureプロセス検証、高度なレポートツールを組み合わせたRapidCureは、最新のプロセス開発機能を提供します。