中古 AXCELIS / FUSION Rapid 320 FC #9202024 を販売中

AXCELIS/FUSION Rapid 320 FCは、フォトリソグラフィープロセスで優れた性能を発揮するように設計された高性能のコンパクト露光装置です。最大32度のフィールドカバレッジ（FC）を提供し、ウェーハ上でシャープなパターンを達成するために2.5µm以上の解像度を提供することができます。このシステムは、直径200mmまでのウェーハ上のマイクロビア生産やその他のルーチンのフォトステンシルアプリケーションに適しています。FUSION Rapid 320 FCは、強力な水銀ランプ光源を使用して、365nmの波長で紫外線を放射します。これは、フォトレジスト化学における理想的なエネルギー範囲です。また、高度な色収差補正（CAC）技術を搭載しており、焦点位置精度と低い収差を維持しながら、フルフィールド上でより高い数値開口（NA）を使用することができます。AXCELIS Rapid 320 FCの自動化されたプロセス制御モジュールは、高速かつ制御された露出プロセスにより、長期的な再現性を実現します。また、リアルタイムで調整可能な正確な波長安定化を提供し、露出ユニット内の一貫した露出線量を維持します。このユニットには、露出プロセス中にウェーハの焦点位置を測定する統合されたコート計測機が装備されています。これとは別に、Rapid 320 FCは生産効率を向上させるように設計されています。コンパクトな設計により、クリーンルームのレイアウトに容易に統合できます。また、ツールのメンテナンスを容易にするために設計されており、オンサイトサポートの応答を高速化し、ダウンタイムを短縮します。また、AXCELIS/FUSION Rapid 320 FCは、高精度のシャッター応答時間とパルス幅で優れた露出精度と再現性を提供します。また、最大200mmまでのコーティングされたウェーハをサポートできるため、ウェーハの取り扱い能力も注目に値します。さらに、高解像度で再現性に優れているため、消費抵抗を低減できるように設計されています。全体として、FUSION Rapid 320 FCは、高性能、高精度、柔軟性、高効率を提供する優れた露出モデルです。エレクトロニクス製造業界の幅広いフォトリソグラフィ用途に最適です。