中古 AXCELIS / FUSION PS3 #9241297 を販売中

AXCELIS/FUSION PS3は、半導体デバイスの製造のためのフォトリソグラフィープロセスで使用するために設計された露出装置です。0。25ミクロンと直径1インチまでの小さな特徴を露出することができます。融合したFUSION PS3システムは、マシンの動作を制御する強力なホストコンピュータと、UltraViolet （UV）光源と精密ステージで構成されています。露光ユニットの光源は紫外線を発するアークランプです。高速スキャン、光源の強度を測定するための精密なUVセンサー、マスクとウェーハの正確な位置合わせのための可動ステージの位置を正確に制御する機能を備えています。このツールは、最大スキャン速度が1サイクルあたり30ms、 Zステッパー精度が0。3ミクロンです。AXCELIS PS 3の特徴セットは、半導体デバイスの迅速かつ正確な製造を可能にします。高精度なステージポジショニングと幅広い動作モードにより、ユーザーは機能の忠実性を確保しながら、高いスループットを維持するために必要な正確なパラメータをダイヤルできます。露出アセットは、ウェーハからのフィードバックを内部の品質管理モデルを介して、完全なプロセス制御を備えており、製造プロセス全体を厳密に制御できます。この装置は、2つ以上の異なるマスクで露出されるウェーハなど、さまざまなユニークなプロセスを自動化するために構成可能です。AXCELIS/FUSION PS 3露光システムは、半導体デバイスの製造における様々なフォトリソグラフィープロセスに使用するために設計されています。パワフルなホストコンピュータにより、プロセス全体を正確に制御でき、高速スキャン、高精度なUVセンサー、超精度ステージポジショナにより、迅速かつ正確なデバイス製造が可能です。