中古 AXCELIS / FUSION PS3 #9241236 を販売中

AXCELIS/FUSION PS3は、高度なマスク製造とリソグラフィーパターニング用に設計された最先端の露光装置です。このシステムは、高精度の光学系、完璧なイメージングユニット、高度なソフトウェア制御を組み合わせて、超精密で高解像度の結果を提供します。FUSION PS3は、ブロードバンドアークランプと非球面の超紫色i-lineレンズで構成される統合された光学ツールを活用し、精密な画像処理を実現する先進的な光学イメージングマシンです。高解像度光学とソフトウェア制御の組み合わせにより、アセットはパターンをウェーハに正確に定義することができます。また、ウェーハアライメント装置を自動化し、ウェーハの自動アライメントと登録、パターンの正確な配置を可能にします。AXCELIS PS 3は、高度なソフトウェア制御方法を使用して、生産中の速度と精度を最適化します。自動化されたウェーハアライメント機能は、高度なソフトウェアパッケージによって管理され、プロセスの各ステップでコンポーネントを正確に配置できます。さらに、このシステムは、超精密なパターン配置とフォーカス制御のためのオンザフライ調整が可能です。このソフトウェアにより、オペレータはユニットのイメージング機能を最大限に活用してスループットを最適化し、歩留まりを最大化することができます。PS3マシンには、精密XYステージと電動Z軸スキャナヘッドを組み合わせた高度なスキャナーツールも組み込まれています。モーションステージと高度なイメージングアセットを組み合わせることで、超精密な性能と精度を実現します。このモデルはまた、イメージングのパフォーマンスに関するフィードバックを提供し、最適な設定とパラメータを検証するためにオンボードスキャン診断を提供します。さらに、AXCELIS PS3は、厳しいレベルの検査機能を備えています。これには、画像比較、欠陥解析、オーバーレイ性能、スペクトル応答解析が含まれます。これにより、機器は一貫した歩留まりと信頼性の高いプロセス制御を提供できます。PS 3は、優れたイメージング機能、信頼性、プロセス制御性能を提供するために設計された最先端の露光システムです。先進的な光学系、イメージングシステム、ソフトウェア制御を駆使し、次世代のマスク製造やリソグラフィーパターニングに最適です。AXCELIS/FUSION PS 3は、精密オプティクス、自動化されたウェーハアライメントマシン、電動スキャンヘッド、超精密イメージング機能を備え、生産とリソグラフィに必要な性能と精度を提供します。