中古 AXCELIS / FUSION PS3 #9240662 を販売中

AXCELIS/FUSION PS3は、業界標準の露光機能を提供するために設計された露光装置です。このシステムは、いくつかの重要なアップグレードと改善を提供するFUSIONプラットフォームの後継です。このユニットは、最先端のレーザースキャン技術を使用して、優れた解像度と非常にタイトで再現性のあるパターンを提供します。それに4ミクロンから10ミクロンまで及ぶ調節可能な特徴のサイズがあります。また、出力電力が最大2000ワットの高出力レーザーを搭載しているため、より高速な露出とより高いスループットを実現します。マシンは、12インチまでの露出フィールドの広い範囲をカバーするために、大きな、細かい、機械的な橋を持っています。この橋には、BGA、 LGA、スペシャルティマスクなどのリソグラフィックマスク用のさまざまな調整可能なホルダーが付属しています。このツールはまた、より大きな基板に対応するために、いくつかの蓋タイプとサイズを備えています。FUSION PS3アセットは、寸法精度の向上と振動の最小化に焦点を当てて設計された高度なノズル設計を備えています。これにより、優れた基板パターニング精度が保証され、ノイズレベルが低く安全な環境が提供されます。さらに、このモデルは、焦点ビーム、反射、オーバーレイなど、さまざまな露光オプションも備えています。このバリエーションにより、露光ニーズに正確にマッチすると同時に、スピードとスループットを向上させることができます。最後に、この機器には、機能を最大化するための包括的なソフトウェアツールも付属しています。バンドルされたソフトウェアは、設計データとの投影マッチを実行しながら、パターンの欠陥を識別して削除できる分析機能を提供します。また、基板パターンの品質を保証し、コストのかかるエラーや再稼働のリスクを低減する自動欠陥認識機能も備えています。全体として、AXCELIS PS 3はパワフルで信頼性の高いシステムです。このユニットは、高度なパッケージング、高ピン数デバイス製造、生体医療デバイス製造などのプロセスに最適なソリューションです。