中古 AXCELIS / FUSION PS3 #9240661 を販売中

AXCELIS/FUSION PS3は、プリント基板、フラットパネルディスプレイ、バイオセンサーなどの先進的な写真および印刷デバイスの製造を支援する露出装置です。FUSION PS3は、集積回路（IC）チップを開発するための高品質パターニングを提供する最先端のフォトリソグラフィーシステムです。高度な光学ハードウェア、機械ハードウェア、電子ハードウェア、およびパターニングおよび計測用の高度なソフトウェアツールを組み合わせています。AXCELIS PS 3の中核には、193 nm、 13 cmの直径のArFリソグラフィレーザーを搭載したユーセントリック点を備えた上下の大面積の露出ユニットがあります。これにより、優れた深度のフォーカスと解像度、および上下のマスクプレートハンドラが提供され、19。75インチ×19。75インチのフォーマットと最大40インチ/秒のスキャン速度、および製造サイクル時間を短縮できる1時間あたり10ウェーハのスループットが向上します。AXCELIS/FUSION PS 3は、被曝を正確かつ正確に達成できるように基板モーションコントロールとイメージフォーカス調整システムを備えています。これにより、高集積ICを微細な分解能、高スループット、優れたオーバーレイ精度でパターン化することができます。また、真の偏光や可変露光機能などの高度な光学機能を活用して、最先端のIC製品を開発することができます。さらに、FUSION PS 3は、低露光でも精密なリソグラフィのための精密パターニングプロセス制御と、複雑なパターンと正確な結果をすばやくプログラミングおよび処理できる強力なソフトウェアスイートを備えています。一貫した結果を得るために、露出前と露出後のアライメントを含む一連の計測ツールも利用できます。最後に、PS 3は、大気汚染物質への影響が少なく、電力効率が向上したツールの正確な動作を保証する強化された環境制御マシンを提供します。この統合された環境制御には、消費電力を削減するエネルギーセーバーモードと、有害な排出を削減できる低消費電力の排気ボタンが含まれます。AXCELIS PS3はパワフルで信頼性の高いフォトリソグラフィ資産で、明日のICデバイスの生産に役立つ高度な露出能力を提供します。高度なハードウェアとソフトウェアを組み合わせて、正確なパターニングと計測機能を提供し、スループットと環境制御機能を向上させます。