中古 AXCELIS / FUSION PS3 #9230281 を販売中

AXCELIS/FUSION PS3は、半導体ウェーハや集積回路などのハイテク部品の製造・製造に使用される、先進的で高性能で費用対効果の高い露光装置です。このシステムは先端技術の製造業を支え、最先端の性能を達成するために何世紀もの光学、金属および精密機械設計の練習に基づいて造られます。FUSION PS3は、光源、レチクルステージ、レンズ、カメラ、マスキング、パターンステッチなどの一連のコンポーネントで構成されています。365〜436ナノメートルの波長範囲を放射する水銀またはアルゴンレーザーの光源を使用して、制御パターンをレチクル段に投影します。レチクルとは、定義されたパターンをウェーハに露出させるために使用されるマスクです。パターンがパターンされている基板に対して相対的に動かないように、レチクルは真空フレームに保持されます。レンズはレーザーから放出された光を捉え、それをレチクル段に向ける。このレンズは通常、溶融シリカでできており、パターンが精密に形成されるように平らな視野を提供するように設計されています。カメラはレンズとレチクルを検査するために使用され、マスキングユニットはすべてのプロセスパラメータを確実に満たします。パターンステッチは、ウェーハ全体の各パターンの位置を正確に決定する方法を提供します。AXCELIS PS 3のコンポーネントに加えて、このマシンは、プロセスを最適化するために洗練されたアルゴリズムの範囲を使用する予測コントローラを備えています。このコントローラは、ツールのパフォーマンスを常に監視し、最適な結果を得るためにパラメータを調整しています。さらに、アセットには、プロセスエラーが発生した場合にモデルをシャットダウンする安全機能が組み込まれています。AXCELIS PS3は、高精度で再現性の高い幅広いパターンを生成することができます。この装置は、リソグラフィ、エッチング、フォトリソグラフィ、プラズマ強化など、幅広い用途に使用できます。さらに、AXCELIS/FUSION PS 3は、ウェハマッピング、欠陥検査、誘電試験を行うことができます。このシステムは、高速パターン認識エンジンや自動データアーカイブを備えたマルチレベルデータロガーなど、さまざまな高度な機能を提供します。このユニットには、露出プロセスを制御、監視、分析する一連のソフトウェアツールも含まれています。全体として、PS 3は信頼性が高く強力な露出機で、さまざまな業界やアプリケーションで使用できます。その精度、パフォーマンス、コスト効率に優れているため、高度なプロセス制御と精度を必要とするハイエンドのアプリケーションに最適です。