中古 AXCELIS / FUSION PS3 #9228099 を販売中

AXCELIS/FUSION PS3は、半導体産業のフォトリソグラフィープロセスに使用される先進露光装置です。FUSION PS3システムは、従来のDUVフォトリソグラフィ機能を向上させ、高解像度、高再現性、高速スループットを提供する最先端のユニットです。AXCELIS PS 3は、フォトリソグラフィープロセスの最終結果を強化するために設計された包括的な機能を備えています。このマシンは、精密なレイヤ間アライメントとマルチフィールド、マルチフィールドタイプのウェーハスキャン機能を可能にするために、さまざまなツール構成を使用しています。PS3の高速、高解像度スキャンおよび出力機能により、0。17 μ mの解像度で最大500 x 500 mmのフィールドサイズのウェーハを作成できます。さらに、AXCELIS PS3は、最先端のプロセスに対応する幅広いウェーハ基板をサポートします。このツールのデジタル基板傾斜補正機能により、迅速かつ正確なウェーハイメージングが可能になり、高度なウェーハトラッキングおよび露出制御システムにより、ウェーハアライメントが一貫しています。AXCELIS/FUSION PS 3の先進的な処理システムは、材料、レジスト、スキャン速度、ショット低減、エッチング強化など、さまざまな選択肢を提供します。ツールの選択とハードウェアとソフトウェアの組み合わせは、プロセス要件に応じて調整することができます。FUSION PS 3のウェーハローディング資産は、高いスループットニーズをサポートする柔軟性を高めます。さらに、お客様に最高の加工精度を提供するために、さまざまな高精度オプティクスパッケージをご用意しています。PS 3モデルは、お客様のプロセスの継続性を確保するための包括的なサービスとサポートプログラムによってカバーされています。予防メンテナンス、機器修理、スペアパーツ配送、技術トレーニングはすべてトータルサービスパッケージの一部です。また、お客様からのお問い合わせにも迅速に対応いたします。全体として、AXCELIS/FUSION PS3先進露光システムは、フォトリソグラフィ処理アプリケーションに最適なツールです。FUSION PS3は、最高の性能と最新技術を組み合わせて、最も先進的で信頼性の高いフォトリソグラフィーソリューションを提供します。