中古 AXCELIS / FUSION PS3 #293742986 を販売中
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AXCELIS/FUSION PS3露光装置は、高度な半導体加工のために設計された先進的なフォトリソグラフィ装置です。FUSION PS3は、信頼性の高いイオン源を利用して、各種基板材料や設計形状におけるデバイス特性の高精度かつ一貫した露出を実現します。フォトレジストと非フォトレジストの両方のプロセスをサポートするこのシステムは、従来のリソグラフィープロセスよりも優れた機能分解能と一貫性を提供します。プラットフォームは、最大2000ライン/秒の速度で、10ミクロンの解像度のリニアスキャナを備えています。広い視野と高速スキャン速度により、優れた機能詳細を生成しながら迅速なデバイスパターン転送を可能にします。さらに、AXCELIS PS 3は、柔軟性の高い構成可能なプラットフォーム設計により、スループットを向上させます。ロボットカセットローダーはマルチデバイス生産を最適化し、自動露出制御ユニットは露出時間を調整して連続的な再現性と高い均一性を確保します。PS3の精密光トランスポートマシンは、高いアスペクト比と高い均一性のために基板表面全体に正確な焦点を当てることができます。アクティブコントロールツールは、光学アライメントや歪みの問題を軽減し、高精度な処理結果を得ることができます。プラットフォームの高感度、高精度フォトマスクのアライメントと測定技術により、複雑なデバイス機能を処理することもできます。アセットは、10nmの効果的なアライメント許容差、高い信号対ノイズ比、および低サブ分解能のアライメント信号を備え、微細なフィーチャー情報を正確に転送します。全体として、AXCELIS PS3は、大量および高度な半導体生産のための高度なデバイス処理機能を提供します。小型の特徴とパターンを正確に印刷できるため、高精度で再現性に優れ、高い製品歩留まりを実現します。それは非常に柔軟性があり、構成可能で正確であり、高度なデバイス処理のための強力なプラットフォームです。
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