中古 AXCELIS / FUSION PCU #293635910 を販売中

AXCELIS/FUSION PCUは、半導体ウェーハ処理に使用される自動露出装置です。これは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの生産を可能にするさまざまな機能と仕様を提供しています。FUSION PCUは高度なコントローラーユニットによって制御され、異なるユーザープロファイルに従ってシステムのプロセスを制御することができます。このコントローラは、基板のサイズと形状から露出時間まで、基板のバッチごとにすべてのパラメータが正しく設定されていることを保証します。コントローラは、パラメーター間の露出時間を簡単に調整できるなど、幅広いユーザー設定にも対応しています。また、高度な光学センサーと完全電子駆動機を備えており、ビーム下のウェーハの位置が調整され、フォトマスクの投影ドットパターンに集中することができます。この機能は、露出プロセスの精度を向上させ、製造エラーの発生を低減するのに役立ちます。AXCELIS PCUは、トリガー時に紫外線のビームをトリガーする高速シャッターを備えています。この光は、エネルギー集中原理によってさらに増幅される、高出力の水銀アルゴンランプによって生成されます。これにより、最大1ミクロンまたはより細かい精度で任意のサイズの長方形の露出フィールドを迅速かつ正確に配置できます。PCUは、標準の22フィールドフォトマスクまたは高度な200フィールドフォトマスクのいずれかで最大8つの露出フィールドを投影でき、顧客のほぼ無制限の柔軟性を確保します。これにより、露光時間が短縮され、露光エラーによるスクラップやダウンタイムが減少するため、半導体製造プロセスの効率が向上します。AXCELIS/FUSION PCUは、パワフルな性能に加え、使いやすさを追求して設計されています。シンプルなメニューのアセットにより、初心者でも露出時間やフィールドサイズなど、さまざまな露出基準を素早く簡単に設定できます。また、高度なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは発生する可能性のある露出エラーを簡単にトラブルシューティングできます。最後に、FUSION PCUは高品質の材料で作られ、動作によって生成される温度と振動に耐えるように設計されています。また、既存のほとんどのオートメーション技術と互換性があるように設計されており、既存の生産ラインに簡単に統合できます。AXCELIS PCUは、信頼性が高く効率的な露光モデルをお探しのお客様に理想的な選択肢です。