中古 AXCELIS / FUSION Microlite #138918 を販売中

AXCELIS / FUSION Microlite
製造業者
AXCELIS / FUSION
モデル
Microlite
ID: 138918
ウェーハサイズ: 5"
Exposure / Curing system, 5".
AXCELIS/FUSION Microliteは、半導体集積回路、LSI/VLSIデバイス、MEMS (Microelectromechanical Systems)、プリント基板などのマイクロエレクトロニクス機器を正確にパターン化するために使用される露光装置です。このシステムは、コストとスペースの両方で効率的でありながら、最も困難な部品を製造するために必要な重要な機能を提供するように設計されています。FUSION Microliteのコンパクトなデザイン、高度な機能、優れた結果は、その優れた性能の証です。AXCELISマイクロライトユニットには、作業面に非常に均質で均一な光を提供する高速陰極線管を備えた統合された低電圧放射源が含まれています。ライトは調節可能な高解像度の1-4Kw/h電力範囲によって作り出されます。固定バックライト機能により、表面全体を正確に照らすことができます。さらに、このマシンは、最適なパターニングと収差機能を提供する非常に制御可能な光強度、角度、拡散特性で設計されています。他の多くの統合された特徴はMicroliteの性能を高めます。その高度なコンピュータコントロールプログラムは、ツールオペレータをフレンドリーにし、ユーザー定義のパターンやデザインを可能にします。自動化された光パワー制御と組み込みの緩和アセットにより、モデルのパフォーマンスと寿命がさらに最適化されます。統合された冷却装置は使用中に一貫した熱性能を保障します。AXCELIS/FUSION Microliteの電動リニア軸は、非常に正確で高精度な露光を提供します。その均一な動き機能は正確な再現性と速度制御を可能にし、異なるプログラマブルなパターン・ワイズの露出をすばやく切り替えることが容易になります。さらに、動きの滑らかさは、最も複雑なパターンでも一貫した正確な結果をもたらすことを保証します。FUSIONマイクロライトシステムは、手頃な価格と技術的なパフォーマンスの究極を提供します。その高度な機能と密接に統合されたパフォーマンスにより、マイクロエレクトロニクス業界で非常に効果的なツールとなります。その優れた性能と費用対効果により、あらゆるマイクロエレクトロニクス設計やプロセスに最適なソリューションです。
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