中古 AXCELIS / FUSION Microlite 200 PCU #9095471 を販売中

AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCUは、半導体デバイスの操作と製造を容易にするために設計された洗練された露光装置です。このシステムは、さまざまな基材を使用して複数のレチクルをサポートするカスタマイズ可能なレチクル段を使用しており、位置決めとアライメントの繰り返し可能な性能を提供します。このスキャンコントロールは、低ノイズ動作に最適化されており、さまざまなスキャンレートで動作する機能を備えています。FUSION Microlite 200 PCUはデュアルビームアライメントを提供し、アライメント中に高い精度を提供し、アライメント時間を短縮します。このユニットの主な特徴は、正確な数値開口調整、焦点と位置決めのためのステッピングモーターとギアヘッドモーター、スキャンレートと光学安定化の動的最適化です。フォトマスクのアライメントは、コンピュータ制御のサーボ駆動レチクルステージを内蔵したリアルタイムフォーカスマシンによって駆動されます。これは、アライメント処理中に高精度と精度を提供する2つの独立した光学エンジンを使用しています。このツールは、毎秒1000サイクル以上のスキャン速度でも、機能の正確な登録が可能です。Photomask Changerは完全に自動化された資産であり、異なるフォトマスクセットを素早くインデックス化して切り替えることができます。AXCELIS Microlite 200 PCUは、4つのセンサーヘッドを備えたマルチポジションフリンジセンサー（MPS）を備えています。これにより、レチクルとオーバーレイグリッドパターンの微細なアライメントが可能になり、アライメントプロセスに精度が向上します。また、複数の機能を同時に配置できるため、スループットと生産性がさらに向上します。レチクルセレクションユニット（RSU）は、正確で低ノイズのレチクルアライメントを提供し、ステッピングモーターとギアヘッドモーターは正確なフォーカシングと位置決めを提供します。さらに、AXCESMicrolite 200 PCUは効果的な冷却ソリューションを備えているため、異なる基板や材料を扱うことができます。遠隔監視装置も用意されているので、手間をかけずに効率的なデータ収集が可能です。システムはまた容易に取付けることができる複数のモジュールとの速いセットアップを可能にします。結論として、AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCUは、半導体製造プロセスをより効率的かつ正確にするために設計されたさまざまな機能を提供する高度な露光ユニットです。このマシンは、デュアルビームのアライメント、正確な数値開口調整、正確なアライメントのためのMPSセンサー、およびオーバーレイグリッドパターンの詳細かつ正確なアライメントのためのマルチポジションフリンジセンサー（MPS）を提供します。このツールはまた、異なる基板や材料を処理するための効果的な冷却ソリューションを備えています。このアセットには、生産性を向上させ、アライメント時間を短縮し、効率的なデータ収集を提供する多数の自動化機能も装備されています。