中古 AXCELIS / FUSION M150PC MicroLite #9162462 を販売中

AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite露光装置は、最も困難な生産要件を満たすように設計された高性能リソグラフィーオプションです。このシステムは、生産リソグラフィのための高効率で費用対効果の高いソリューションを提供します。PascivalinesTM/DEC SeriaTM光学を活用した先進的な設計・施工により、優れた性能、精度、解像度を実現し、これまでにないスピードと精度で次世代の半導体構造を効果的に生産できます。さらに、独自のエアベアリングスピンドルにより、高精度のウエハハンドリングとアライメントが可能です。一方、SCSI制御により、プロセスを厳密に制御できます。FUSION M150PC MicroLiteの小型フォームファクタにより、生産のセットアップと統合の柔軟性を実現します。軽量かつ小型のフットプリントにより、リソグラフィースイートや一般的な生産環境でのドラムとキューの両方のセットアップに最適です。さらに、その優れた運動力学は、広い波長とパワーレベルを可能にし、高品質の画像と低レベルの歪みをもたらします。AXCELIS M150PC MicroLiteは、高性能、高度な光学系と卓越した精度のユニークな組み合わせを提供します。使いやすいコントロールにより、迅速かつ効率的な操作が可能であり、労働集約的な洗浄サイクルによるダウンタイムはありません。さらに、統合されたマイクロプロセッサ制御機械監視および故障検出ソフトウェアにより、最大の稼働時間と正確で再現性のある結果が保証されます。Micro Lite M150PC高度なレーザー駆動のダイレクトドライブ設計により、量産アプリケーションに最適です。モジュール式、高効率、低消費電力の光学設計により、リソグラフィ工程での高精度を実現します。また、低粒子生成と高分解能露光のための非常に小さなスポットサイズを提供します。AXCELIS/FUSION M150PC MicroLiteのオープンアーキテクチャソフトウェアは、さまざまなテストおよび分析システムとの統合を可能にします。これは、リソグラフィープロセスの生産性と精度の向上に対応します。さらに、強化されたオペレーティングプログラムにより、SEMやLDIなどの画像解析ソフトウェアにアクセスし、保存し、操作することができます。全体として、FUSION M150PC MicroLiteは、高度な生産リソグラフィのための効率的で信頼性の高い選択肢です。高度に最適化され、費用対効果が高く、幅広いリソグラフィープロセスに精度と精度を提供します。その高度な機能は、ほとんどのリソグラフィースイートの不可欠な部分になります。