中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9314174 を販売中
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FUSION™ AXCELIS/FUSION M 200 PCU露光装置は、高度なトランジスタ技術のための高度で高効率な基板露光システムです。最新のプロセス技術と適応性の高い基板処理プラットフォームを組み合わせ、幅広いデバイス製造プロセスを処理できます。FUSION M200PCUユニットには、4点基板ハンドリング機能を備えた完全に統合されたOpto-Mechanicalマシンが含まれています。また、高度なイメージングとアライメント構成を備えており、非常に正確なアライメントを実現できます。さらに、このツールは、ユーザーに最大7つの異なる基板原因を使用するオプションを提供します。アセットは、デュアルガン、無線周波数（RF）ベースの電子ビーム蒸発に依存しています。このプロセスにより、一貫した層の厚さと優れた再現性が保証されます。RF源は有毒な揮発性有機化合物（VOC）を最小限に抑えながらも優れた結果をもたらします。このモデルは、大面積の基板を迅速かつ歪みなく露出する機能など、さまざまな利点をユーザーに提供します。異なった材料の複数の層を作成する機能；そして多軸、動的および段階的な決断を含むさまざまな露出技術の提供。また、露出パラメータをカスタマイズし、アライメント精度を向上させ、基板と材料の処理時間を短縮し、熱応力を低減し、マスク汚染を低減することができます。AXCELIS M200 PCUは、高品質なパターンを生成できる堅牢な設計により、フィールド効果トランジスタ（FET）、酸化金属半導体（MOS）デバイス、表面音波（SAW）などの高度なトランジスタを製造するなど、幅広い基板およびデバイス用途に最適な基板露光装置です。また、CMP加工、誘電エッチング、ゲート蒸着、スペーサ蒸着、バリア/ライナー蒸着プロセスなど、さまざまな蒸着作業に使用できます。
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