中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9314155 を販売中

AXCELIS/FUSION M 200 PCUは、ウェーハ処理内での動作を合理化し、プロセスを自動化するために設計された最先端の露出装置です。このシステムは、競合するシステムよりも厳しいオーバーレイ制御を維持できるAdvanced Exposure Module （AEM）を備えています。この高度な技術は、パターンを敏感にスキャンし、生成されたパターンのサイズと形状を正確に変更することができます。また、露光時の精度を高める3軸ステージも備えています。このマシンには、複数のチップ間でパターンを迅速に検出するために使用されるウェーハの詳細な画像を提供するイメージスキャン技術が含まれています。この技術はまた、高精度で欠陥を検出し、全体的な生産性を犠牲にすることなく高い歩留まりを確保することができます。また、最先端のデュアルジェットフォーカスイオンビーム（DJ-FIB）も搭載しており、高速な再現性で高精度なパターン位置決めが可能です。FUSION M200PCUはまた、比類のない速度と効率を提供するハイエンドのオートメーションを備えています。この資産は、レジスト、クロム、金など、さまざまな種類の露出を実行することができます。また、最先端のオートメーションを組み込んでプロセス時間を合理化し、人件費を大幅に削減し、人員を解放して他のタスクに集中させることもできます。最後に、AXCELIS M200 PCUは改善された汚染制御を提供します。嫌気性プロセスの分離により、ウェーハ全体のパフォーマンスに影響を与える汚染物質や粒子の増設を遮断します。このシステムには、汚染物質を完全に除去するための包括的なイオンスクラブも組み込まれています。結論として、FUSION M 200 PCUは、高度なオートメーション、正確な動き、および優れた汚染制御を提供します。最先端のイメージング技術により、高速なウェーハ処理に最適で、詳細な分析と一貫した結果を提供します。オーバーレイ制御、高精度パターンポジショニング、プロセス時間の短縮により、ウェーハ処理効率を向上させる革新的なソリューションです。