中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284834 を販売中

AXCELIS/FUSION M 200 PCUは、半導体加工の分野で優れたイメージング特性を提供するように設計された先進的な露光装置です。このシステムは、信頼性と再現性の高い露光精度を確保するために、ハイエンドの光学技術と直接および反射光学技術の両方を組み合わせています。このユニットは、高解像度のステッピングモーター、メディアコントローラ、およびユーザーフレンドリーなソフトウェアで構成されています。ステッピングモータは、ステージを正確かつ滑らかに進めることができ、基板内の部品の正確な配置を保証します。メディアコントローラは、予測可能な結果をもとに、複数の機能でステージとシーケンスを管理します。このソフトウェアは、簡単なパラメーターの変更、露出プロセスのプレビューと最適化を可能にするグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。このマシンにはUVレーザーが搭載されており、基板への迅速かつ正確な露出を可能にします。標準のフォトリソグラフィには、波長365、248、 193nmの最大8WのUV光源も含まれています。さらに高い解像度を得るために、高精度のアライメントツールを設計に組み込んで、より良いフォーカスと画像の結果を得ることができます。このアライメントアセットは、1ミクロン以内の画像精度を提供することができます。このモデルは柔軟でモジュール式に設計されており、特定のニーズを満たすために機器構成を迅速かつ簡単に変更できます。また、高速デジタル通信、高速コントローラ、低電圧を備えており、消費電力を削減し、時間を回収します。FUSION M200PCUは、プロジェクトベースおよび本番環境に最適なツールです。柔軟な設計、高精度コンポーネント、さまざまなニーズの迅速な変更を容易にするソフトウェアにより、システムは競争力のある価格で優れたイメージングを提供します。