中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284344 を販売中

AXCELIS/FUSION M 200 PCUは、生産性と生産スループットを念頭に設計された完全自動ウェーハ露光装置です。このシステムは、直径200mmの範囲のウェーハを処理するように設計されています。高精度のX-Yステージとモーションコントロールマシン、ハイエンドパターンジェネレータ、マルチスペクトルボックス照明、高度なUV光学で構成されています。ウェハステージの解像度は2。5ナノメートルです。この精度により、複雑なパターンを高速かつ正確に印刷できます。このツールは、生産性を最大化するための多くの機能を提供します。これにはProtec PUと呼ばれる高度なパターンジェネレータが含まれており、最大メモリは40メガバイトです。このアセットには、自動ゼロシフトで安定した均一な照明を提供する高度な光学モデルと、270nmまでのオーバースキャン機能が付属しています。また、露出後のウェーハ検査を自動化する統合検査ツール「アストラ」も搭載しています。印刷されたパターンを可視化するためのVision Metrologyシステムと3Dマッピングソフトウェアが含まれています。ウエハスループットは1時間あたり最大1200個で、レイヤーの複雑さに応じて1時間あたり最大500個のパターンを処理できます。統合され、最適化スクリプト、プロセスレシピ、シミュレーションモデルのための広範なライブラリが提供されています。最後に、このマシンは信頼性が高く、自己診断機能とエラーを防ぐためのいくつかの機能が含まれています。FUSION M200PCUは非常に汎用性の高い強力なウェーハ加工ツールです。その柔軟性、精度、高スループットにより、半導体製造およびリソグラフィに最適です。ハイエンドの機能と信頼性の高いパフォーマンスにより、このツールは生産性を大幅に向上させ、生産コストを劇的に削減できます。