中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9250405 を販売中
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AXCELIS/FUSION M 200 PCUは、リソグラフィ用の超高解像度の自動露光装置です。FUSION M200PCUは、最高レベルの精度、精度、再現性を提供するように設計されており、マイクロスケールおよびナノスケールの精密部品を効率的に製造するための信頼できるツールです。このシステムが提供する超高解像度は、特許取得済みの曲面フィールド技術を備えた高度な投影レンズによって可能になります。この技術により、AXCELIS M200 PCUは、シリコンウェーハからその他の平面まで、幅広い基板にパターン領域を正確に投影することができます。これにより、画像は毎回正確で一貫していることが保証されます。M200PCUの露光源は、広帯域および深紫外光を生成することができる強力な連続およびパルス水銀蒸気ランプです。AXCELIS M 200 PCUには、回折品質のクロムめっきモリブデン基板を備えた25mm x 50mmアレイマスクが搭載されています。これにより、40ナノメートルレベルまで完璧な構造を投影することができます。露出装置には、精密な線形軸と回転軸を使用して最も正確な基板管理を提供する最先端のモーションコントロールマシンも備えています。AXCELIS/FUSION M200 PCUのその他の機能には、迅速なフォーカス最適化、統合されたトップダウンの均一性キャリブレーション、リアルタイム基板温度監視、および最適化された線量均一性のための高度な露出制御アルゴリズムのためのコンピュータ制御オートフォーカス・ツールがあります。M200 PCUは、半導体ウェーハ加工、太陽電池製造、薄膜成膜、医療機器製造など、幅広い用途に最適なソリューションです。堅牢な構造と直感的なユーザーインターフェイスにより、困難な本番環境でも簡単に使用でき、信頼性が高くなります。AXCELIS/FUSION M 200PCUは、高度な機能と機能を備え、高度なリソグラフィーニーズに費用対効果の高いソリューションを提供します。
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