中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9178009 を販売中

AXCELIS / FUSION M 200 PCU
製造業者
AXCELIS / FUSION
モデル
M 200 PCU
ID: 9178009
ウェーハサイズ: 8"
UV bake systems, 8".
AXCELIS/FUSION M 200 PCU (Process Control Unit)は、微小血管チップ技術を実現する露光装置です。このシステムは、複雑で複雑な微細構造の製造と特性評価に最適です。微細血管プロセスを制御および管理するための非常に効率的な堆積率を備えています。FUSION M200PCUは、プロセスパラメータの正確で反復可能で理解しやすい制御を提供します。このユニットは、必要な液滴の超高線量を正確に、最大100 mC/cm2秒、および完全な精度で提供することができます。また、露光プロセス中に複数のセルの高速かつ効果的な熱制御を提供します。このマシンは、セル数を減らし、プロセスの高速化と精度の向上を可能にするように設計されています。このデバイスは、高真空チャンバー、電源、および正確な露出バルブで構成されています。真空チャンバーは、均質で効率的な熱分布を確保するために特別に設計されています。これにより、チャンバー全体で均一な温度プロファイルが得られます。このツールはまた、高度で高精度な制御システムを多数備えています。これらには、自動連続プロセス監視、一定温度監視、バッチ処理などが含まれます。アセットは、シンプルで直感的なユーザーコマンドにも対応できます。これにより、デバイスのセットアップと操作が大幅に簡素化されます。さらに、耐圧ハッチングシャットオフなどの複数の安全機能を備えており、封じ込め違反を防ぎます。ユーザーインターフェイスは直感的でユーザーフレンドリーで、非常に使いやすく理解しやすいです。AXCELIS M200 PCUは、複雑で複雑なマイクロストラクチャーの製造と管理に最適なソリューションです。その高度な精度と制御は、最高品質の出力プロセスと反復可能な結果を保証します。シンプルなインターフェイスと安全機能により、ユーザーフレンドリーで安全に使用できます。
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