中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9145259 を販売中

AXCELIS/FUSION M 200 PCUは、フォトレジストコーティングおよびベーキング用途向けに設計された、主要な露光装置です。このシステムは、コーティング、ベーキング、ポストベーキング、エッチングワークフローの一貫性を提供します。その高度な技術は、正確かつ再現可能な制御、生産の再現性の向上、およびパフォーマンスの提供を保証します。その先進的なコンポーネントには、ウェハロボットローダー、プラットフォーム搭載コンベアユニット、温度制御空気、可変速度駆動モータが含まれます。ウェーハロボットローダーは、ウェーハのスロット処理に正確なスロットを確保するために組み込みビジョンマシンを備えています。コンベアツールには調整可能なWeb治具があり、ウェーハ間の正確な転送と配置を可能にします。温度と湿度制御により、均一な温度と湿度条件を確保し、欠陥を低減します。可変速度モータは、露出、ベイク、およびエッチング操作を正確かつ再現可能に制御するために調整することができます。FUSION M200PCUには、循環式の加熱空気資産を備えた標準的なベーキングオーブンがあります。このベーキングオーブンは、N7、 HMBCD、およびHOLEMASK/SATICIDEプロセスのウェーハ露出に対応しています。オーブンには最新のドア/プログラム最適化制御も装備しており、均一性と最適なプロセス性能を確保しています。このモデルには、不要なガスの蓄積を除去する排気プレナムも含まれています。また、ウェーハ基板へのフォトレジストの成膜を自動化する可変高さフィルムコーティングステーションも備えています。このステーションには、フォトレジストフィルムの均一で正確な厚さコーティングを提供し、最適な結果を得るための特許取得済みのエアアトマイザー技術が装備されています。また、ホットプレート、ベークプレート、UV露出操作もオプションでサポートしています。AXCELIS M200 PCUは、高度な技術と様々な露光オペレーションのサポートを備えた高効率の性能向上ユニットです。このマシンは、正確かつ再現性の高い結果を保証し、運用効率の向上、再現性の向上、全体的な優れた性能を提供します。