中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824586 を販売中
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU （Product Containment Unit）は、半導体の生産における最大限の封じ込め能力を提供するために設計された露出装置です。このシステムには、PCUのワークスペースを他の生産環境から隔離する調整可能な先進技術のゲートバルブが装備されています。これにより、最も純粋なガスと化学物質だけがワークスペースに存在することが保証され、清潔で安全な作業環境が確保されます。FUSION M200PCUは、固定格納室、可変表示窓、および低熱質量炉で慎重に構築されており、それらはすべてユーザーの特定のニーズに応じて構成されています。調節可能な表示窓は単位の内部働きの可視性を高めるように設計されています。低熱質量炉は、あらゆる温度設定で一貫した熱性能と熱伝達精度を確保するために設計されています。AXCELIS M200 PCUは、アルミニウム支持構造で覆われた水晶ネットを使用して、基板からの短波長および長波長紫外線放射を吸収し、酸化および汚染から保護します。クォーツネットは重合工程での硬化均一性の調節にも役立ち、高性能な特性を持つ半導体の生産を可能にします。M200 PCUは、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）コーティング、酸化ケイ素およびプラズマ強化CVD、高スループット/低フローガスラインなど、さまざまなオプションで補完されています。MEMSコーティングされた薄膜リソースは、半導体製造工程での超薄膜に対する微細な制御と均一性を保証します。酸化ケイ素とプラズマ強化CVDは、ファインラインリソグラフィと優れた底面反射防止コーティング（BARC）性能の生産を最適化するのに役立ちます。AXCELIS M200PCUは、最も厳しい封じ込め要件を満たすように設計されており、SafeWebテクノロジーを使用しています。このソフトウェアパッケージは、不正アクセスの試みやプロセスパラメータ操作などの潜在的な違反からマシンを保護するために使用されます。これにより、安全で安全なツールを確保しながらも、操作が簡単でありながら、スタッフを保護し、コストを最小限に抑え、品質を維持するのに役立ちます。
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