中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824584 を販売中
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AXCELIS/FUSION M 200 PCUは、リソグラフィ印刷用途に優れた解像度を提供するように設計されたハイエンド露光装置です。このシステムは、高度なユニットアーキテクチャと高度なイメージング機能を組み合わせて、パフォーマンスと生産性を向上させます。このマシンは、小型部品から本格的なデバイスまで、デバイス製造のニーズに最適です。このツールは、ユーザーが任意の角度から資産のパフォーマンスを監視することができます2つのリアビューカメラを搭載したハイエンドプラズマチャンバーが含まれています。マルチチャネル容量性モニタがあり、ウェーハのスループットを最適化し、ウェーハの品質を監視するのに役立ちます。100W電子ビームソースは、微細なパターニングのための小さな領域に対応するのに役立ちますが、50keV動作電圧範囲は、デバイスとフィーチャーサイズ制御のためのより柔軟性を提供します。このモデルは、フォトレジスト機能の範囲を公開することができ、焦点能力の高精度深度を提供します。コンピュータ制御のスキャナにより、正確で再現性のあるウェーハイメージングが可能になり、複数のレイヤー配置と露出パターンを処理できるため、歩留まりと生産性が向上します。また、この機器は最適化エンジンを備えており、ユーザーはシステムをさまざまなデバイスの生産要件に簡単に合わせることができます。また、自動化されたトラックマシンを搭載しており、製造工程中の機器の性能を監視することができます。このツールは熱ベーキングも可能で、ユーザーは露出した樹脂の均一性を制御することができます。高度な基板処理により、薄い基板を容易かつ安全に搬送・取り扱うことができ、汚染のリスクを低減します。FUSION M200PCUは、デバイス製造に最適な汎用性と強力な露出モデルです。このシステムは、高度なイメージング機能、堅牢な機器アーキテクチャ、柔軟な最適化エンジンにより、デバイスの歩留まりと精度を最大限に引き出すことができます。
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