中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293651753 を販売中

AXCELIS/FUSION M 200 PCUは半導体産業の生産を支えるために設計された露出装置です。このシステムには、ブロードバンドUV光源の管理、配信、制御のための高度なプラットフォームが含まれています。アダプティブユニットを使用して自動的に出力電力を制御することができます。FUSION M200PCUは水晶で囲まれた光学機械を備えており、パターニングやレチクルイメージングなど、あらゆる出力レベルのスキャナー、ステッパー、生産デッキに直接組み込むことができます。さまざまな光学パラメータを備えたこのツールは、さまざまなタイプの半導体基板とフィーチャーサイズに対応できます。また、偏光や高さセンサなどの光学部品や、ユニークなビームホモゲナイザーなど、均一な強度分布を提供します。このモデルは、露出時間とパワーレベルをスケジューリングすることができ、正確な紫外線の量を確実に配信することができます。すべての装置機能はプログラム可能であり、システムはスキャンだけかスキャンおよび制御モードを支えます。また、洗練されたメンテナンステストユニットを備えており、柔軟で将来のアップグレードをサポートするように設計されています。AXCELIS M200 PCUユニットは、メンテナンスおよび修理作業のために、リモートでサービスを提供するように設計されており、技術者がサービスを提供している間も稼働し続けます。このマシンはまた、リモートツールの監視と制御を可能にする堅牢なソフトウェアのコレクションを持っています。このソフトウェアを使用すると、技術者はリモートでパラメータを調整し、資産設定を調整し、問題のトラブルシューティングを行うことができます。M-200 PCUは高い信頼性および長い耐用年数のために設計されています、寿命の過程で少し維持を要求します。また、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスなど、ユーザーフレンドリーな機能が多数搭載されており、オペレータや技術者がすべての機器機能に直感的にアクセスできます。AXCELIS M200PCUは、高品質のUV照射を半導体製造などの要求の厳しい用途に提供するのに最適な、プログラマブルで使いやすいシステムです。これは、一貫して正確な露出を提供するように設計されており、既存の生産ラインに簡単に統合することができます。