中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293595633 を販売中
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU (Programmable Control Unit)は、集積回路処理の精密制御用に設計された自動ウェーハ露出装置です。高度な制御アルゴリズム、幅広い構成、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。FUSION M200PCUは、さまざまなソフトウェア技術を活用して、半導体製造事業のための包括的で柔軟なソリューションを提供しています。このユニットのコア技術は、8軸の動きを持つプログラム可能な自動位置決め機で構成された高精度のウェーハステージで構成されています。これにより、ウェーハアライメント、回転、フォーカスを正確に制御できます。さらに、このツールにはユーザー設定可能なウェーハシューターが装備されており、自動ダイシングとチッピング生産が可能で、トレンド設定の真空ステージも備えています。これらの機能は、生産スループットを最適化し、信頼性を最大化するのに役立ちます。AXCELIS M200 PCUは、高度な電子制御技術を備えており、さまざまな生産環境で優れた性能と正確な結果を保証します。制御プロセッサは複数のプログラムを同時に実行でき、スループットの向上と生産の柔軟性を実現します。また、プロセス制御と特性評価を容易にするための高度なデータ収集も備えています。アセットは完全に自動化されるように設計されており、内蔵の真空チャンバー、精密光学二クロイクフィルター、CCDカメラなど、さまざまな先進的なアクセサリーが装備されています。オペレータは、特定のニーズに合わせてモデルパラメータを設定し、露出時間を設定し、露出を迅速に微調整できます。さらに、グラフィカルディスプレイとオンラインヘルプ機能を備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。AXCELIS/FUSION M-200 PCUは、生産品質と再現性を高めるための強力なツールです。これは、処理パラメータと最適化されたスループットの信頼性と正確な制御を提供するように設計されています。さらに、生産アプリケーションとプロトタイピングアプリケーションの両方に最適です。
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