中古 AXCELIS / FUSION M 200 PCU Polo #9258174 を販売中

AXCELIS/FUSION M 200 PCU Poloは高精度の露光装置です。顕微鏡のようなセットアップを利用し、XYステージにレチクルを取り付け、ウェハを使用して画像をキャプチャします。レチクルはx-yステージに配置され、ウェーハと整列します。その後、レチクルは顕微鏡の下のx方向とy方向に移動され、露出のために配置されます。このシステムは、優れた解像度で正確で反復可能な露出を提供するように設計されています。高解像度光学系がレチクルを正確に捕捉し、低レベルで正確な露光を実現します。このユニットはまた、最大露出精度と再現性を確保するために、レチクルに正確にウェーハを提示することができる電動ウェーハステージを備えています。FUSION M200 PCU POLOは、x-yステージとウェーハ位置を正確に制御できるデジタルモーションコントローラを備えています。これは、ミリ秒から数時間までの露出時間と、数ナノグラムからミリグラムまでの露出線量を提供することができ、± 1％以内に露出を維持することができます。さらに、LED、クリプトン、マーキュリーアーク、DUVランプなどの幅広い光源と、狭帯域調整や反射防止フィルターなどのフィルタオプションを提供しています。露出機には、いくつかの安全機能も備えています。自動エッジ検出アルゴリズムと独立した安全ツールを備えた自動ウェーハエッジアライメントを提供します。これにより、ウェーハまたはレチクルを損傷する可能性を最小限に抑えたレチクルの正確なアライメントが保証されます。また、レチクルの動きを自動検出して露出を停止し、意図しないシフトが発生した場合に迅速にレチクルを引き戻します。最後に、AXCELIS M 200 PCU-POLOにはデータロギングアセットが装備されています。このモデルは、露光時間と線量をリアルタイムに記録し、プロセス制御および欠陥解析に関連する目的で使用することができます。また、位置、温度、湿度などの環境条件を記録して、露出やプロセスの再現性を確保することもできます。全体として、AXCELIS M200 PCU POLOは、優れた解像度で再現性と正確な露出を提供することができる高度で堅牢な露出装置です。その安全機能は、さらなる保護レベルを提供し、データロギング機能により、プロセス制御および欠陥解析の目的で正確なロギングを保証します。