中古 AXCELIS / FUSION M 200 PC #9329137 を販売中
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AXCELIS/FUSION M 200 PCは、レーザーリソグラフィ用途向けに開発された先進露光装置です。このシステムは、532nmのグリーンエキシマレーザーを使用して、半導体ウェーハ上にフォトレジストパターンを作成します。また、2つの精密焦点光学系を備えており、焦点深度とスループットが向上した高解像度イメージングを提供します。このユニットは、振動を排除し、正確なフォトリソグラフィーアライメントと露出を確保するための硬質ベースプレート設計を備えています。また、サーマルイメージングマシンと高度な計測ツールを組み込んで、プロセス実行中に露出パラメータを監視および調整します。このツールの主な特徴は、自動露出機能です。このプラットフォームは、露光時間、焦点深度、フィールドサイズ、エネルギーレベル、波長などのプログラマブルパラメータ設定を可能にします。Power SenseTMパワーモニタリング技術は、レーザーの電力分布を動的に測定し、最適な性能を得るためにその特性を自動的に調整します。さらに、PulseStitchTM機能を使用すると、調整可能な持続時間とエネルギーの複数のパルスを1つのパルスに結合できます。これにより、フォトレジストパターン全体に均一なエネルギー分布が保証されます。FUSION M200PCは、オペレータとレーザー資産を害から保護するための高度な安全機能を備えています。モデルのインターロックセンサーに加えて、装置には安全カーテンシステムと排気ユニットが内蔵されており、露出工程で発生する発煙を排除します。機械にまた安定した、持続的な操作を提供する水冷工具および電源があります。AXCELIS M200 PCは、さまざまなフォトマスク設計と組み合わせて使用でき、さまざまなフォトレジストやその他のフォトリソグラフィープロセスの開発に使用できます。光学に焦点を当てる精密、プログラマブルパラメータ設定、パルセスティッチ技術などの機能は、フォトマスク、フォトレジストなどのプロセスと組み合わせることで、個々のレシピをカスタマイズすることができ、半導体リソグラフィの研究と生産に最適なツールとなります。
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