中古 AXCELIS / FUSION M 200 ACU #293641443 を販売中

AXCELIS/FUSION M 200 ACUは、高精度な高速パターニングを実現する高度な露光装置です。これは、市場で最も高速なスキャナの1つであり、1時間あたり最大200ウェーハの露出に達することができます。高いスループットと正確なオーバーレイ精度でダイナミックなパフォーマンスを提供します。ACUは、高度な光学イメージングシステムと可変速度DCモータを使用して、制御と柔軟性を向上させます。イメージングユニットは、レンズやビームスプリッターなどの光学部品を多用しているため、機械を再プログラムすることなく複数のレチクルをイメージングすることができます。レンズ収差補正機能も搭載し、極端な光学構成でも正確なパターニングが可能です。さらに、ACUは生産スループットと精密オーバーレイと超低コストのオーナーシップを融合させています。この組み合わせにより、メーカーは低コストで高密度デバイスを迅速に製造することができます。ACUは、ダイレベルパッケージから複数層チップレベルパッケージまで、幅広いプロセスアプリケーションをサポートしています。このツールには、いくつかのパフォーマンス向上制御機能が装備されています。最高グレードのサーボシステムとセンサーは、高速で正確な信号処理を提供します。直感的なコンソールソフトウェアは、予防アクションを自動化することで作業効率を向上させます。ACUはまた、豊富な標準およびカスタムコンポーネントを備えた広範な構成性と信頼性を提供します。さらに、ACUはいくつかの安全基準を使用しており、オペレータが作業中に安全であることを可能にしています。このアセットには、空気圧バルブロックや低圧バックプレッシャーインターロックモデルなど、いくつかの安全メカニズムが組み込まれており、振動監視装置や反射器清浄検出器などの追加機能が含まれています。FUSION M 200 ACUはパワフルで高度なリソグラフィ装置で、高精度かつ確実にデバイスをパターン化することができます。スピード、柔軟性、パフォーマンスの強化機能を生産設備に組み合わせることで、市場投入までの時間を短縮し、所有コストを削減できます。このシステムは、生産プロセスで最高の品質と効率を求めるメーカーに最適です。