中古 AXCELIS / FUSION M 150PS #293616814 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PSは、半導体業界の高度なリソグラフィ用途向けに設計されたハイエンド露光装置です。プロジェクションオプティクスを使用して、光学表面に正確なパターンを照射し、集積回路（IC）上の複雑な回路パターンを作成することができます。FUSION M 150PSは、436-451nmの波長範囲で強力な光源を提供する高出力の水銀/キセノンランプを使用しています。プロジェクションオプティクスは、光学素子、コンデンサーレンズ、レチクルホルダー、プロジェクションレンズで構成され、150xの倍率を提供します。この光路はステップとリピート動作システムに同期され、レチクルパターンを素早く正確にICの広い領域をパターン化します。このユニットはまた、露出チャンバー内の圧力を維持する真空機械を備えており、露出プロセス中の最高レベルの精度を確保するのに役立ちます。さらに、AXCELIS M 150PSには、オペレータを有害な放射線やその他の潜在的な危険から保護するための複数の安全機能が含まれています。M 150PSの高度な機能により、チップ包装やマイクロプリンティング部品などの大量のリソグラフィ用途に最適です。また、大きなICよりも画質が安定しているため、優れたスループットを実現します。強力なブレードスキャナにより、最も複雑なパターンでも迅速かつ正確な露出が保証され、優れたパフォーマンスと信頼性を提供します。全体として、AXCELIS/FUSION M 150PSは、医療機器や通信機器などの典型的なマルチプロジェクトウェハプロセスに最適です。その柔軟性と堅牢な設計により、多種多様なリソグラフィ用途に適しています。