中古 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9355456 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCU露光装置は、ウェーハの高度なリソグラフィ処理のための洗練されたツールです。正確かつ高速に設計されています。長時間の作業距離と広い視野が特徴で、レチクルをウェハ上に正確に配置することができます。さらに、露出速度が速く、露出時間が短いため、ワークフローの一貫性と効率性が維持されます。このシステムは、直接UVレーザー露光、UVフォトレジストコーティング、ポストコーティングアライメントなど、さまざまなリソグラフィックプロセスに最適です。露光速度が速いのは、フローティングフィールドイメージングマシンを備えた4レンズ光学ユニットによるものです。この4レンズ光学ツールは、回折を低減し、解像度を向上させる小さな数値開口を持っています。このアセットにはオートフォーカス機能も搭載しており、ウェハを最適なフォーカス位置に素早く取り込むことができます。FUSION M 150PCUは、統合された自動アライメント機能により、重要な画像処理タスクに高精度を提供します。オートアライメント機能は、適切に均一な露出パターンを得るために、レチクルを迅速かつ正確にウェーハに配置します。さらに、その調整可能な焦点機能は、すべての画像が同じ焦点距離を持つことを保証し、結果の一貫した露出と再現性を確保します。また、ウェーハの取り扱いと装填を容易にするように設計されています。クイックウェーハアクセスチャンバーを備えており、簡単に開閉できるため、ウェーハを素早くロードしてアンロードすることができます。さらに、自動化されたウェーハアライメント装置は、ミスアライメントの懸念を低減し、ウェーハをイメージング段階に素早く配置するのに役立ちます。全体として、AXCELIS M 150 PCU露光システムは、ウェーハの高速かつ正確なリソグラフィ処理に最適なツールです。この機能により、レチクルを迅速かつ正確にウェーハに合わせることができ、均一な露出パターンと再現性のある結果が得られます。調整可能なフォーカスユニットと自動ウェーハアライメントにより、マイクロファブリケーションプロセスのスムーズで効率的なワークフローを容易にすることができます。