中古 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9355454 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCUは、先進的な半導体デバイス層を製造するために設計された露光装置です。シングルピース、ダブルビーム、インラインマシンシステムを単一の統一プラットフォームに輪郭を描くことで、精密な加工と配置を可能にします。ウエハスループットが極めて高いため、さまざまなウエハサイズやレイヤーで優れた画質を実現します。機械の最先端の光学系、レーザーカットされたウェーハホルダーおよびローディングツールは、正確なアライメントを提供し、金型配置の不均一性を低減します。FUSION M 150PCUには、自動露出、パターンアライメント、ダイカスト、および最適なターゲットレベルのアライメントのための高度な設計が装備されています。そのソフトウェア機能は、スループット、制御マット、速度を最大化し、連続アライメントと高スループットイメージングを可能にするように設計されています。このアセットにより、照明力、開口数、センサー位置、用量、焦点サイズなどの露出パラメータを精密に制御できます。AXCELIS M 150 PCUには、高解像度標準レンズ、高解像度イオンセンシング、リングスキャン、オートフォーカス、リングスキャニング、レーザーアライメントなど6種類のイメージングシステムが搭載されています。これにより、さまざまな波長と数値開口部での柔軟で高品質なイメージングが保証されます。効率的な操作のために、モデルはインライア、アウトライナー、配置パッチ、および適用されたundockableバンパーで設計されています。これにより、マイクロメートルの振動を排除し、露出時間を短縮します。さらに、マスクからエキシマー（MTE）へのアライメントの自動ダイツダイ登録機能と、エッジからエッジへの登録精度の向上を備えています。このシステムは、マルチターゲットウェーハ処理機能も備えています。オートアライナーは最大4つのウェーハスタックに対応可能で、ウェーハ全体の露出を可能にするため、自動検出、押出、クランプによりウェーハグループを圧縮するように設計されています。要するに、M 150PCUは、高度な半導体層の精密加工と配置を可能にするように設計されたシングルピース、ダブルビーム、インラインマシンユニットです。このマシンは、さまざまなウェーハサイズとレイヤーに対応する超高ウェーハスループットで優れたイメージング品質を提供し、高解像度の光学系、自動ダイダイ登録ツール、複数のイメージングシステム、および自動インリエ/アウトライナー機能を備えており、不均一性を低減し、エッジからエッジまでの精度を向上させます。さらに、このアセットには、複数ターゲットのウェーハハンドリング機能と、最大4つのウェーハスタックを処理できるオートアライナーが搭載されています。