中古 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9293816 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCUは、シングルおよびマルチ露光機能を必要とするさまざまなアプリケーション向けに設計された中間性能露光装置です。このマシンは、1軸、2軸、または3軸の構成でXまたはYインシデントを調整およびカスタマイズする柔軟性を提供する新しい6軸モーションシステムを備えています。FUSION M 150PCUウォームアップ時間は同様のシステムで改善され、2分のウォームアップ時間は最大6軸です。このユニットは、1マイクロメートルの線形増分で動作するように設計されており、20mmスキャン範囲にわたって± 2％の全精度を提供します。また、22ナノメートルの高分解能を備えているため、アライメント、接触、イメージングアプリケーションでの選択性と精度を向上させます。サブエクスポージャー機能と統合されたオートフォーカスと直感的なナビゲーションにより、AXCELIS M 150 PCUは迅速な設計に適しています。この機械は多数のエネルギーレベルの選択、可変的なスキャン速度および可変的な線量測定を含むいろいろな標準的な特徴、またスキャンの障壁の監視、aligner、およびsituのスキャンのような広範囲の高度の安全特徴と、付属しています。また、ツールのパフォーマンスを常に仕様内に保つための包括的な診断パッケージも付属しています。このアセットには、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスが搭載されており、シンプルで自動化された操作を提供します。このインターフェースはまた、包括的なオンラインデータログと統計プロセス制御を提供し、ユーザーはリアルタイムでプロセスのパフォーマンスを監視および追跡することができます。さらに、このモデルは、幅200cmまでの特殊チャンバーとさまざまな校正手順を包括的にサポートしています。FUSION M 150 PCUは、ライフサイエンスおよびマイクロエレクトロニクス分野におけるナノリソグラフィ、レーザーアブレーション、モーションコントロールなど、さまざまな主要アプリケーションに適しています。それは費用効果が大きく、信頼できる設計の中間性能の露出装置を捜す顧客のための理想的な選択です。