中古 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9235795 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCUは、ウェーハ、基板、マスク製造などの生産レベルのリソグラフィープロセス用に設計された産業用グレードのフォトレジスト露光装置です。このシステムは柔軟性が高く、自動基板やマスクチェンジャー、ステレオリソグラフィ、調整可能な露出領域などの機能を備えています。FUSION M 150PCUは、高速かつ精度の高い再現性の高い露出をサポートする包括的なソフトウェアパッケージで構築されています。このソフトウェアは、ユーザーに乾燥と湿ったプロセスの両方で光レベルと取得時間を完全に制御することができます。また、広い露光範囲で最大0。1mmの位置決め精度が可能です。また、可変速度、マルチゾーンスキャンルーチンとの長期露出整合性も可能です。AXCELIS M 150 PCUは、高精度のサーボ制御ステッパーとコントローラ、フォトセンサー、ソフトウェアプラットフォームで構成されています。コントローラには、フォトセンサーとのインタフェース用に独自の統合マイクロプロセッサとエレクトロニクスが装備されています。フォトセンサ自体は高精度の光学ユニットを内蔵しており、標準のプロファイラと比較して出力電力と露光時間をより正確に制御できます。また、ハイエンドのXY位置決めツールを搭載し、広範囲にわたる精度を提供します。さらに、露出中にサンプルをしっかりと保持するための真空チャックアセットも含まれています。このモデルには反射防止コーティング装置を装備することもでき、露出プロセス中にウェーハに静的蓄積するリスクを低減することができます。FUSION M 150 PCUには、有害な放射線から人員を保護する専用のエアフィルターと専門のシールド、および内蔵の緊急遮断システムなどの安全機能が組み込まれています。ユニットも非常に信頼性が高く、稼働率は99。9％です。全体として、M 150PCU露光機はプロセスに不可欠なリソグラフィープロセスに最適です。堅牢で使いやすく、柔軟性が高く、レーザー精度と信頼性を提供しています。