中古 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9043936 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCU Ion Implantation Equipmentは、最大限のプロセス柔軟性とインプラントのスループットを実現する、最先端かつ信頼性の高い装置です。それは装置プロセスの広い範囲のために適した先端技術の統合されたイオン注入器システムです。それは精密および優秀なスキャン制御を提供します。この露出ユニットは、ソースチャンバー、スキャナ、およびウェーハ転送機で構成されています。ソースチャンバーには15EkVドーピングと20kVアニールガンが装備されています。精密なインプラント制御のための8セグメント静電式スキャナを備えています。スキャナの縦軸はコンピューター制御です。ウェハトランスファーツールは、モデルの動作を停止することなく、ウェハをアセットからロードおよびアンロードできるように設計されています。また、ウェーハの自動積み下ろしモジュールも装備しています。この装置はWindowsベースのコンピュータシステムによって制御されており、注入レシピのプログラミングとより正確な注入制御を容易にすることができます。単位にまたインプラントの線量そしてプロフィールを制御するのを助ける実時間帰還ループがあります。この機械は、少量でも精度と再現性を可能にします。FUSION M 150PCUは、信頼性、再現性、高性能のインプラントを提供します。それは高い生産性を保障するのに高度のイオン源の制御技術および高度のビームおよび基質の制御を使用します。ユーザーインターフェイスは、大きなタッチスクリーンカラーモニターとグラフィカルプログラミング言語で構成されています。これにより、プログラミングとレシピの変更が迅速かつ簡単になります。このツールはまた、小さな基板サイズと低エネルギーインプラントなどの異なるプラズマプロセスを処理することができます。この資産は、最適なドーパント使用と最小限のモデル充電を可能にする多段デューティサイクルを備えています。さらに、最大限のプロセス柔軟性を備えているため、ユーザーは迅速なサイクルタイムでさまざまな移植プロセスを効率的に管理できます。AXCELIS M 150 PCUは、さまざまなデバイスや基板に高性能、柔軟性、効率的なインプラントおよびアニーリング機能を提供します。高度なビーム制御技術と直感的なユーザーインターフェイスを備えており、インプラントのレシピをより迅速かつ正確に実装できます。これは、最高の信頼性のための歩留まりと性能を高めるために優れた反復可能な性能を持っています。