中古 AXCELIS / FUSION M 150PCJ #9095711 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCJは、深いUV LEDアプリケーション向けの高度で費用対効果の高い露光装置です。幅広いサブミクロン基板のハイエンド性能を実現します。FUSION M 150PCJは、LEDアシスト、ダイレクトイメージング（DIDI）、さまざまなデジタルハイトコントロール（DHC）オプションなどの独自技術を使用して、イメージングとフィーチャーサイズに優れた精度を提供します。AXCELIS M 150PCJは、操作の精度、正確な画像転送、および動的応答を保証する統合された測定および制御ユニットで設計されています。これには、最適な性能を得るために露出チャンバーを安定させる熱管理冷却機が含まれています。ダイレクトイメージングテクノロジー（DIDI）は、露出層とイメージング層の重複を強化し、基板上のフィーチャーサイズのより大きなコントラスト解像度を提供します。FUSIONのMach 2。0モジュールには高度なDHC （Digital Height Control）オプションが組み込まれており、異なるレイヤーとマルチフォーカス露出ルーチンの正確なアライメントが可能です。この機能により、多くの基板にわたって微細なピッチと特徴の均一性を達成することができます。さらに、M 150PCJは現場での洗浄機能をサポートし、より効率的な基板処理を促し、歩留まりと工具の性能を向上させます。AXCELIS/FUSION M 150PCJは人間工学に基づいたデザインで、プロセスを効率的かつ正確に処理できます。さらに、アセットの直感的なユーザーインターフェイスとリアルタイムのリモート監視機能により、オペレータへの迅速なフィードバックが可能になり、必要に応じて迅速な調整が容易になります。さらに、オートフォーカス洗浄、ディープクリーニング、Bステージ洗浄など、さまざまな洗浄プロセスに対応しています。全体として、FUSION M 150PCJ、深い紫外線LEDアプリケーションのニーズを満たすことができる汎用性と高精度の露光装置です。統合されたレイヤー制御技術と自動化されたワークフローにより、迅速なセットアップと効率的な運用が可能になります。さらに、人間工学に基づいた設計と費用対効果の高い操作により、システムのパフォーマンスを最大限に高める理想的なソリューションです。