中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #9399679 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、さまざまなリソグラフィ用途に使用される、統一された高性能の露光装置です。これは、さまざまなフィーチャーサイズとピッチ精度レベルで、最も厳しいイメージング要件を満たすように設計されています。システムは、最大375mmのレチクルと互換性のある高速多機能転写プラットフォームを備えています。これには、最大30個のレチクル用の自動ハンドリングユニットと、アライメントと検証用のレーザービューアが含まれています。FUSION M150PCには、最先端の技術と高度な画像処理アルゴリズムを組み合わせたハイエンド光学パターンジェネレータが搭載されており、精度と再現性に優れたさまざまなショットサイズを生成します。AXCELIS M 150 PCには、マルチレベルレーザー露光ヘッドも装備しています。最大出力は150Wで、最大250 μ m/sの速度でショットを露出することができます。レーザーは非常に低いラインおよびスペース変動の高い忠実度のイメージを提供するように設計されています。AXCELIS/FUSION M150PCは、リアルタイムフォーカス制御、高度なアライメント制御、エラー補正機能を組み合わせ、最適な画像制御を維持します。自動化されたプロセスコントロールマシンは、強化されたプロセスツール制御機能により、各ランで再現可能な結果を保証します。このツールには、次世代のリソグラフィランタイムソフトウェアであるiCureも搭載されています。このソフトウェアは、露出中に発生する可能性のある問題を特定、分析、修正するために設計されており、より効率的で信頼性の高い製品開発を可能にします。その結果、最大限の動作安定性、優れた再現性と精度、および強化されたプロセス制御機能を備えた柔軟性、信頼性、および高性能な露出アセットが得られます。FUSION M 150PCは、幅広いリソグラフィ用途で生産効率と品質を向上させるための最適な選択肢です。