中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #9250096 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PC Exposure Equipmentは、ICの製造に使用するために設計された高度なダイレクトビューウェーハ露出ツールです。このシステムは、サブミクロンのフィーチャーサイズを備えた高密度デバイスの量産に適しています。このユニットは、基板の正確な位置決めと積み下ろしを可能にするリニアモーターマシンに基づいています。このツールは、30ミクロンの焦点深度で200X低減で最大150mmの基板を露出することができます。このアセットは、汚染を低減し、精度を高めるために設計された一連の機能を提供します。このモデルのダイレクトビュー機能は、密閉されたガラスキャノピーを備えた統合された長寿命のシールドレンズ投影装置を使用しており、きれいでほこりのない環境を保証します。また、レーザー干渉計が内蔵されており、基板の正確な位置決めと基板傾きの制御を提供します。このシステムの光学ユニットは、コーティングフリーのドライプロジェクションレンズと一連の光学バンドパスフィルターを使用して、微細なラインとサブミクロンのフィーチャーサイズを生成します。さらに、機械には電動アライナーが装備されており、基板を0。2um未満の精度で素早く正確に整列させることができます。このツールのモーター駆動型ウェハハンドリングアセットは、シングルサブストレートとデュアルサブストレートの両方の処理を提供し、6シグマ機能を備えています。また、自動化された基板マッピング機能を備えており、再現可能な基板処理を実現しています。FUSION M150PCは、長期的で費用対効果の高い生産のために設計された、効率的で信頼性の高い機器です。システムに特化したプログラミングにより、1時間あたり最大12サイクルの生産速度で、高速で安定したスループットを実現します。ユニットはモジュール構成で設計されており、必要に応じて柔軟性とアップグレードが可能です。このマシンはまた、リモート監視と制御のためのネットワーク接続を提供し、さまざまなホストコンピュータ、オペレーティングシステム、およびソフトウェアと互換性があります。AXCELIS M 150 PC Exposure Toolは、IC製造プロセスに高度で高精度な露出機能を提供します。豊富な機能と自動化を備えたアセットは、高密度デバイスの生産に適しており、正確で再現性の高い結果を保証します。