中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #9241901 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、大量のフォトマスクを製造するために設計された、高度なコスト効率の高い露光装置です。高いスループット、高品質の画像、高度なオートメーションにより、ディスプレイ液晶を含むさまざまなフォトリソグラフィーマスクの製造に最適なソリューションです。このシステムは、2つのイオンポンプと2つのウェーハローディングステーションのオプションを備えた革新的で統合された光学設計を提供します。また、大型で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスやモーションコントローラなどの次世代エレクトロニクスや、高精度で最適な機能配置を実現するオートフォーカスユニットも備えています。FUSION M150PCは、体系的なパフォーマンスを向上させるためのさまざまな機能も提供しています。これらの特長は、高出力イオンポンプを搭載し、様々な気体において効率的なフィルム開発を可能にし、大面積の偏光器とエミッタ、調整可能な開口部を備え、高コントラスト、低歪み、大面積の画像を生成することができます。また、ProXのようなフルレンジスキャナ（FRS）を搭載しており、高速スキャン移動時間を可能にし、ショットフィールドの自動アライメントを行う直感的なフォーカルアライメントツール（FAS）も備えています。また、基板に対して調整可能なエネルギーを持つ高度な多層リソグラフィ資産もあります。また、このモデルは、高速かつ効率的なバッチ処理を可能にする自動ウェーハ処理機構を備えています。このウェーハ処理機構には、ステーションからウェーハを積み降ろすための4つのロボット、検査と清掃用の2つ、分離用の1つのロボットが付属しています。このロボットは、複数のウェーハでバッチ処理することで、スループットを向上させることができます。さらに、負荷/アンロードモジュールには、レチクルやその他のコンポーネントへの損傷を防止する自動衝突検出装置も付属しています。AXCELIS M 150 PCは、アルミニウムやクォーツマスクなど、さまざまなフォトマスクを製造することができます。また、50 nmから500 nmまでのさまざまな解像度を提供します。さらに、このシステムはオーバーレイエラーを軽減することができ、正確なフォトマスクのアライメントと歩留まりの向上を可能にします。全体として、AXCELIS/FUSION M 150 PCは、フォトマスクの製造を合理化、簡素化、改善する多数の機能を提供する、コスト効率の高い高性能な露出ユニットです。高いスループット、高度なオートメーション、直感的なタッチスクリーンインターフェースにより、LCDおよびディスプレイアプリケーション用の最高品質のフォトマスクを製造するのに最適なツールです。