中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #9232206 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、高度なリソグラフィ用途向けに開発された先進露光装置です。独自の5軸ステージユニットを搭載し、最高レベルのパフォーマンスを実現する精密かつ正確なアライメントを可能にします。機械の力はユーザーのための選択の広い範囲を提供します。このツールは、純粋なアルゴンフッ化物、248nm波長の光帯域幅ソース、365nm波長のi-lineソースという3つの異なるソース構成を利用しています。アルゴンフッ化レーザーは、写真パターン領域全体にわたって高いスループット、画像忠実度、均一性を提供し、i-lineソースはポリイミド感光膜に最適です。このアセットには、高度なCollimated Overlay Imaging Detection Technologyも搭載されており、精度と精度が向上した直接エッジのアライメントを提供します。さらに、Collimated Overlay Imaging Detectionテクノロジーにより、1サイクルでリアルタイムの解析、監視、およびウェーハの測定が可能になります。さらに、高度な電源補正モジュールは、スループット、フォーカス、レジストの重要な寸法を向上させます。このモデルには洗練されたコンピューティングプラットフォームも組み込まれており、Mask ID、 Exposures、 Dose、 Alignなどのパラメータを直接制御することができます。コンピューティングプラットフォームを使用すると、ユーザーは独自のレシピ設定をカスタマイズし、データを分析することができます。FUSION M150PCのソースは、マスク、ウェーハ、またはレチクルが機器にロードされたときに自動的に検出するのに十分なインテリジェントです。さらに、このシステムには、緊急停止などの最新の安全機能や、燃焼および電気安全メカニズムが装備されています。AXCELIS M 150 PCは、強力で信頼性の高い露光ユニットで、さまざまなリソグラフィおよびナノ加工アプリケーションで最高の性能を提供できます。ユーザーフレンドリーな機能と高度な機能により、ユーザーは最小限の労力で最高品質の画像とパターンを作成することができます。この機械は、ナノエレクトロニクス、半導体、マイクロオプティクス、フォトニクスなどの産業および研究用途に適しています。