中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #9226631 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、FUSION Technologies社製の露出装置です。集積回路（IC）ウェーハや基板上にパターンを作成するために使用されるリソグラフィーシステムです。このユニットは、最大150mm （6インチ）のサイズのウェーハを処理することができ、パターン深度分解能は最大5ナノメートルです。このマシンは、高度な高解像度機能、高いスループット、使いやすさを特徴としています。このツールは、6インチウェーハを最大350ウェーハ/時間で処理できる、高解像度、高スループットステッピングスキャン資産を備えています。Asurfソフトウェアを使用して、幅広い露光パターンや基板材料用にモデルをプログラムし、ウェーハのサイズや生産ニーズに合わせてプロセスをカスタマイズすることができます。また、長寿命の連続波レーザダイオードを備え、10nmまでの基板パターニングをサポートできます。FUSION M150PCには、高性能な電子ビーム源も搭載しています。このビームソースを使用すると、パターン深度を5 nmまで達成できます。ビーム電流範囲は3 amps/cm2まで、露出線量は20 mrad/cm2までです。また、リアルタイム欠陥検出機能を内蔵しているため、基板上の欠陥をすばやく特定できるため、最適な生産性が得られます。このユニットは人間工学に基づいた設計と使いやすいソフトウェアで構成されており、既存のプロセスとトレーニング要件に簡単に統合できます。このマシンは、AXCELIS OneCETソフトウェアとAXCELIS/FUSIONインターロックコントローラを搭載しており、効率的なウェハプロセス監視と制御を提供します。このツールは、安全、品質、および環境基準のISO、 SEMI、およびOHSAS規格に準拠しています。さらに、この資産は、業界標準および安全規制を満たすために定期的なメンテナンスと更新を受け、寿命を通じて最適なパフォーマンスを保証します。AXCELIS M 150 PCは、パターン定義と基板材料タイプにおいて最高の精度と明瞭さを実現する高性能露光モデルです。高速スループットと正確なパターニングを提供するこの装置は、ユーザーに大きな柔軟性と最適なパフォーマンスを継続的に調整する能力を提供します。オプションのビームトレーシングパッケージとリアルタイム欠陥検出を組み合わせたこのシステムは、IC製造およびその他の関連プロセス向けの優れたソリューションです。