中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #9114863 を販売中

製造業者
AXCELIS / FUSION
モデル
M 150PC
ID: 9114863
ウェーハサイズ: 6"
Photostabilizer, 6" Includes: Cabinet with SST panels Wafer chuck assembly (2) Cassette elevators (2) Wafer handling robots AC Distribution box Empty card cage Cables.
AXCELIS/FUSION M 150PCは、半導体デバイス製造において最適な性能を発揮するよう設計されたハイエンド光露光装置です。小型金型や大型ウェハの製造に最適で、高度なマイクロチップ製造プロセスに最適です。FUSION M150PCは、2つの個別に調整可能な2軸7。5インチミラー、5インチ波長マルチビューオブジェクティブ(MVO)レンズ、0。65倍のフィールドマスク光路を備えたユニークな照射光学システムを備えています。ターゲットイメージをデジタル画像処理プロセッサに均一に投影し、正確な制御を行います。このユニットには、パワーサプライヤー、オートフォーカス機、ウェハテストおよび平面化のためのバーンインユニットも含まれています。高度な機能により、最大限の柔軟性と処理速度を提供します。このツールは、JPEG、 TIFF、 BMP、 CMYKなど、さまざまなデジタル画像フォーマットと解像度に対応するように設定できます。最大解像度は1インチあたり20,000ポイント(ppi)に設定されているため、複雑なグラフィックスやテキストの敏感な処理に最適です。オートフォーカス制御は、被写体の位置のわずかな変化を検出し、露出層の品質の一貫性を保証するために焦点を正確に調整することができます。さらに、AXCELIS M 150 PCは、複数のレイヤー露光モードにも対応しています。アセットの堅牢な設計により、効率的な損失を最小限に抑えて露出パラメータを効率的に切り替えて調整できます。また、独自の液晶シャッターモデルにより、従来の0。25ミリ秒から999ミリ秒までの露光時間を柔軟に費やすことができ、微細な制御と画質の向上が可能です。ユーザーフレンドリーな液晶タッチスクリーンを備えたAXCELIS M150PCは、露光時間、露光面積、レイヤー露光パラメータを設定するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。チャンバーを清潔に保ち、温度と湿度レベルの安定性を確保するデュアルゾーン排気装置により、快適で効率的な操作がさらに強化されます。全体的に、FUSION M 150PCは、優れた性能と柔軟な機能を提供する信頼性の高い効率的な露出システムです。マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、MEMS技術の半導体デバイス製造など、クリーンで均一な露出を必要とするアプリケーションに最適です。
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