中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #293823986 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
AXCELIS/FUSION M 150PCは、大容量の半導体デバイスを製造するために特別に設計された先進的な露出装置であり、最大の半導体デバイス製造メーカーの多くの半導体ファブによって利用されています。このシステムには、ユーザーが欠陥を最小限に抑えて高精度で一貫した信頼性の高いデバイスを製造できるさまざまなテクノロジーコンポーネントが含まれています。このユニットは、最先端の81cmスキャン長2フィールドエレクトロン乗算（EM）リソグラフィーヘッドを中心に構築されており、最小フィーチャーサイズが20nmまでの画像を作成できます。さらに、ヘッドは最大5。3 μ mの極端な高解像度を提供し、最大20mm/秒の高速スキャン速度を兼ね備えています。さらに、このマシンは、3800ワットトライバンドとオプションの18khz補助ランプ技術を備えたダブルブロードバンド照明で最適化されています。このツールのハードウェアは、産業用グレードのPC上に構築され、Nvidia Quadro GPUとペアリングされたIntel Xeonプロセッサを搭載しており、最高の結果を得るための最高の計算能力を確保しています。その他、EUVプロジェクションオプティクスや高度な収差補正モデルにより、イメージング効果を高めています。また、精密なイメージングのためのクローズドループ焦点ターゲットコントロールも備えており、電動レンズ設計により、優れた精度と再現性を実現しています。システムはまた、すべての操作、パラメータ、およびデータ取得の包括的な制御をユーザーに提供する統合されたユニット制御を備えています。これには、マシン全体の個々のチューニングとキャリブレーションと、さまざまなレシピをプログラムして将来の使用のために保存する機能が含まれます。さらに、このツールはユニークなツールモニタリングアセットを統合し、リソグラフィーヘッド、光学、センサーの詳細な分析を提供し、ユーザーが最適なパフォーマンスを維持するためにプロアクティブな調整を行うことができます。高度な技術に加えて、このモデルには、環境、人員、機器を保護するための包括的な安全機能も含まれています。これには、高温、機械的損傷、および危険物の衝撃から保護する内蔵の安全システムが含まれます。また、大きな故障や緊急事態が発生した場合の自動機器のパワーダウンも含まれています。要約すると、FUSION M150PCはデバイス製造の最も厳しい要件を満たすように設計された高度なリソグラフィーシステムです。このユニットは、低ノイズのEM絞りから革新的なEUVプロジェクション光学、個々のキャリブレーション機能から厳しい安全機能まで、幅広い機能を備えています。これにより、大量のデバイス生産に最適です。
まだレビューはありません