中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #293822595 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、高品質で高精度な集積回路フォトリソグラフィのための最先端の露光装置です。半導体業界のリソグラフィのニーズに合わせて設計されています。このシステムは、エキシマーレーザービームソース、高精度プロジェクションオプティクスモジュール、ウェハステージ、統合フロントエンドユニット（FES）、および包括的なプロセス制御ソフトウェアスイートで構成されています。このマシンは、ハイコントラスト表面、高速露光時間、精密アライメント、ローラインブラーで、最高品質の結果を提供するように設計されています。独自のFESにより、再現性、高いスループット、優れた画質を保証します。レーザー光源は、高いフラックス密度とUV放射の狭い5nm帯域幅を提供します。このレーザーエネルギーは分割され、ビームの一部はクロスウェーハを使用し、一部はインラインアライメントに使用され、解像度は0。5ミクロンになります。高信頼性の投影光学モジュールは、レンズとミラーの3つのスタックで構成され、画像解像度と歪み補正を提供します。レーザーとフォトマスクを組み合わせることで、ナノパターンやミクロンスケールのパターンを作ることができます。ウェーハステージは、高精度なアライメントを保証し、高スループットウェーハローダーとアンローダーを備えた6軸モーションコントロールを備えています。このツールの優れた安定性により、露出プロセス中のウェーハの優れた位置精度が得られます。最後に、プロセス制御ソフトウェアスイートは、ユーザーにリソグラフィープロセス全体を監視および制御するための包括的な機能セットを提供します。これには、レシピの処理、すべてのパラメータのロギング、エラー検出とリカバリ、およびレポート機能が含まれます。アセットは分散処理もサポートしており、複数のワークステーションを同時に実行できます。レーザー技術、プロジェクションオプティクス、ウェーハステージ、ソフトウェア制御を組み合わせることで、FUSION M150PCは集積回路システムの製造において比類のない性能を提供します。このモデルは、時間とコストのほんの一部で最高品質のリソグラフィ画像を生成するように設計されており、半導体メーカーは業界の需要に合わせて競争力を維持することができます。