中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #293658467 を販売中
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AXCELIS/FUSION M 150PCは、半導体産業で一般的な高スループット生産要件をサポートするために設計された先進的な露光装置です。これは、プロセス制御と計測のための強力な機能セットを提供し、一貫した歩留まりを提供するのに役立ちます。このシステムは、フォトリソグラフィ用のデュアルソース、8段階の差動ソースプラットフォームに基づいています。これにより、高精度のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に不可欠な高精度の結果とプロセスが保証されます。機能面では、FUSION M150PCは、ダイレクトドライブ技術、高解像度スキャナ光学、高度なソースと計測システムの革新的な組み合わせを誇っています。この構成は、最適なスループット、低消費電力、および優れたプロセス制御を提供します。さらに、フルスペクトラルレーザー干渉計を統合して、リアルタイムでスキャン精度を測定し、高度で完全に統合された計測コンポーネントを使用して、正確なプロセス制御と意思決定を可能にします。このマシンは、さまざまな高度なハードウェア制御とソフトウェアパッケージを提供することで、パフォーマンスをさらに向上させます。これには、画像ベースのウェーハ登録ツール、および高速処理とスループット向上のための統合冷却が含まれます。さらに、AXCELIS M 150 PCには、標準的なダイサイジングアセット、ポジショニングモデル、パレット配置ツールも含まれています。また、マイクロエレクトロニクスの生産に伴う汚染やその他のリスクを防止するための機内安全装置もあります。最後に、このシステムは幅広いパフォーマンス能力と柔軟性を提供します。これにより、生産ニーズに応じてユニットを上下に拡張できます。また、さまざまなデータ管理ソリューションをサポートし、ユーザーが簡単に結果にアクセスしてレビューできるため、プロセスの最適化と他のシステムとの統合がスムーズになります。AXCELIS M150PCは、高精度の生産要件に最適な露出ソリューションです。
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