中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619558 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、集積回路と高密度インターコネクトの製造用に設計された先進露光装置です。このシステムは、最高品質、ほとんどの均一な結果を達成するために設計されています大量のターンツーターン生産。このユニットは、最も包括的な露光カバレッジをもたらすように構成された太陽電池、回路、デバイスの正確なアライメントを可能にする多波長プラットフォームを内蔵しています。この露光療法により、スループットが向上し、運用コストが削減され、デバイスの電気性能が向上します。このマシンには、紫外線（UV）と可視光スペクトルの両方から露光波長を生成できるパルスエキシマレーザーを含む複数の照明源が含まれています。これにより、複雑なポリシリコン素子と小さな画像素子の両方の露出カバレッジが可能になります。また、幅広いマスクプレートやウェーハステージを備えているため、望ましい露出条件を素早く正確に設定することができます。このダイナミック露出プラットフォームは、レイヤー間のアライメントとオーバーレイのパフォーマンスを高速化しながら、最適化された露出スワットを実現します。アセットはまた、厳しい温度公差で設計されています。この温度制御により、露出サイクル全体で一貫した反復可能なパフォーマンスを実現できます。このモデルにはアクティブな空冷が組み込まれており、露出領域全体で均一な温度を維持するのに役立ちます。この機器は、高度なソフトウェアコントロールも備えています。洗練されたアルゴリズムを使用して、複数波長露光プラットフォームを迅速かつ正確に構成し、高度な機器制御システムと統合します。これにより、露出パラメータを簡単に調整して、FUSION M150PCから実現可能な最高品質のパフォーマンスを実現できます。このシステムは、業界で最も先進的な露出プラットフォームの1つであると考えられています。高密度の集積回路やデバイスの製造に適しています。このユニットは、次世代アプリケーション向けの最高品質のシリコンデバイスと回路を確保するために必要な正確な制御と均一性を提供します。