中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619557 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、マイクロエレクトロニクス製造用の高解像度ダイレクトイメージング形成であり、ウェーハの正確な露出とイメージングを可能にします。この装置は複雑な装置の生産の要求を満たすために優秀な性能および特徴を提供します。FUSION M150PCは、最新技術を駆使し、高速・高精度を実現しています。このシステムは、光学系、ステージ、基板の高度な制御、低慣性、優れた再現性、および大型ワーキングエンベロープを備えた最高レベルの精密ステージを提供します。リアルタイムの画像フィードバックを提供する15インチデジタルフラットパネルモニタ、多様な要件に対応する広範囲の波長と照明構成を備えています。AXCELIS M 150 PCは、最適化された設計のおかげで、優れたパターンオーバーレイの再現性と安定性を提供します。デジタル更新ボードと高速制御CPUにより、制御安定性と精度が確保され、優れたパターン信頼性と精度が得られます。このマシンは、優れた焦点精度とオーバーシュート制御を備えた高速処理と、過酷なプロセス環境での反復可能な結果を保証するダイナミックフォーカスフィードバックを備えています。このツールは、さまざまなデバイスの種類の最適な処理のためのさまざまな精密露出構成を可能にします。FUSION M 150PCは、汚染を低減し、光学歪みを解消し、高い安定性を提供する独自の設計を提供します。1時間あたり150以上のウェーハを出力できるため、大量生産に最適です。このモデルは、データ処理とパラメータ測定機能の広い範囲を提供する高度な制御装置を備えています。そのアクティブなデジタル制御ボードは、より高い精度と効率を可能にする環境パラメータの広い範囲を処理することができます。さらに、FUSION M 150 PCには安全機能が組み込まれており、安全に使用できるシステムとなっています。全体として、AXCELIS M150PCは強力で信頼性の高い高速ダイレクトイメージングユニットであり、汚染を最小限に抑えながら優れた性能、精度、精度を提供します。高度な機械設計を活用して、このツールは、生産の卓越した規律とスピードを提供します。