中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619555 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、精密フォトリソグラフィ加工用に設計された露光装置です。超パワフルな6軸モーションコントロールプラットフォームとUp-Down TimeBaseモーションコントロールテクノロジーを搭載しています。この技術により、製造工程のレイヤーとパターン配置を非常に正確に制御できます。このシステムは、4K（ケルビン）までの温度に達することができる積層ガラス窓を備えたカスタムデザインの強力な150W水星ランプを備えています。また、非常に高い精度と再現性で、優れた光学均一性を提供する長焦点距離投影レンズが含まれています。また、FUSION M150PCは使いやすい設計となっており、ほぼすべてのオペレーターで簡単に操作できます。このユニットは、高解像度の画像処理機能と高解像度のダイ・バイ・ダイ・アライメント機能を備えており、最適な詳細なレイヤ位置決めとパターン・レプリケーションを保証します。AXCELIS M 150 PCは、高精度で再現性のある一貫した大量生産のために完全に自動化されています。また、このマシンには多数の安全機能が組み込まれています。最大性能の空気保護、ダストフィルターを装備し、圧力と熱の危険な蓄積を避けるために時間ベースのツールで動作します。ハイテクなオートフォーカス機能により、1つのショット内に正確かつ正確にピースを配置できます。M150PCはまた、すべてのパターンが正確かつ一貫して完了することを確実にするために、CCDカメラを含む測定および計測機器のフルレンジを備えています。完全に自動化されたプロセス制御資産は、プロセス全体を監視し、測定値が目標レベルから逸脱した場合、または機器が安全または品質基準を満たさなかった場合、機器および警告オペレータを停止します。全体として、AXCELIS/FUSION M150PCは高度で信頼性の高いフォトリソグラフィーモデルであり、高い精度と再現性を備えた正確なパターニングとレイヤー配置を可能にします。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、安全機能、高解像度イメージング機能を備えているため、大量生産のための強力なプラットフォームです。