中古 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619554 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150PCは、マイクロエレクトロニクス分野で最も要求の厳しいアプリケーションを満たすように設計された先進的な露光装置です。このシステムは、高度な技術、設計、自動化を通じて、卓越した信頼性と再現性を提供します。このユニットは、高度な光学系を備えた高性能ビームソースによって駆動され、高均一エネルギーと線量レベルの範囲を確保します。5軸XYZロボットアームは、速度と精度を犠牲にすることなく、最も正確で信頼性の高いサンプル配信を提供します。このマシンはまた、6nsの超高速の行列速度、正確な線量レベル+/-0。25％、深紫外線の長波露光波長、および完全に自動化されたオンラインフィルム制御と露出最適化モジュールによる高スループットの低コストのサブミクロンステッパーを備えています。FUSION M150PCは、オーナーシップと運用の低コストで精度とスピードを提供します。堅牢で直感的なユーザーインターフェイスにより、このツールは幅広いプロセスをサポートするのに十分な柔軟性があります。高精度な線量と露出制御を実現し、精度は最大0。1％です。さらに、プロセス制御を向上させるための分解能と漂流補償アルゴリズム、自動ウェハハンドリングおよびオンザフライのレシピのための調整可能なプロセスウィンドウが組み込まれています。AXCELIS M 150 PCモデルは、ウェーハのサイクルタイムが速いため、リソースを効率的に活用して優れた生産性を提供し、歩留まりの向上と一貫した信頼性の高い結果を提供します。リアルタイムプロセスフィードバックの使用は、長期的なプロセスの安定性を確保するための機器をサポートします。システムはCE、 EMC、 ULに準拠しており、超低振動共振により、ダウンタイムを削減しながらスムーズかつ静かに動作します。FUSION M 150PCは、利用可能な最も先進的な露光システムの1つであり、卓越したパフォーマンスと信頼性を提供します。マイクロエレクトロニクスの生産および研究アプリケーションに最適で、高スループットおよび高収率の処理を可能にします。その高度な光学系とロボットアームだけでなく、その複数のユーザーフレンドリーな機能で、それは露出ジョブのすべてのタイプのための優れた選択肢です。