中古 AXCELIS / FUSION M 150 #9293753 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150は、高いスループットと大型基板用に設計された先進露光装置です。超高精度半導体マスク形成から大面積フラットパネルディスプレイまで幅広い用途に、高解像度、低歪み、均一性、低欠損性を提供します。FUSION M 150には高度な電子ビーム源が搭載されており、幅広いステージに対応可能 （300mmから1200mmまで）および基板構成、150 nsの業界をリードする飛行時間。電子ビーム源は超低電力範囲で非常に安定した反復可能な性能を提供し、より細かいラインと接触ジオメトリを必要とするアプリケーションに最適です。このシステムは高度にカスタマイズ可能で構成可能であり、ユーザーはアプリケーションのニーズに合わせて最適な構成とセットアップを選択することができます。さらに、ユニットの柔軟性により、自動機能認識、シミュレーション、最適化など、さまざまな制御アプリケーションから選択できます。AXCELIS M150は、大口径マスクや高密度レチクルなど、さまざまなウェハ材料やフォトマスクをサポートすることができます。さらに、0。1ミクロンまでの機能サイズにも対応できます。このマシンには高度な診断機能が搭載されており、ユーザーはツールのパフォーマンスを監視し、プロセスパラメータを最適化できます。これは、優れたプロセス制御と再現性のある結果を保証するのに役立ちます。さらに、FUSION M150は、その信頼性の高い操作に貢献する他の多くの機能も提供しています。高速データ交換およびネットワーク機能により、ウェーハアライメントソフトウェア、プロセッサ最適化ツールなど、さまざまな資産周辺機器との容易な操作とサポート統合が可能です。M150は、高品質の高度なフォトマスクやコンタクタから、超大型表面領域の非接触基板まで、さまざまな用途に適しています。さらに、先進的な機能と信頼性の高い性能を兼ね備えているため、ハイエンド半導体デバイスと大面積ディスプレイの両方の製造に最適です。